Предлагайки над 100 специализирани газове и смеси, ние сме първият и глобален избор за специфични за електрониката газове. Нашите обширни познания по процеса гарантират, че нашите електронни газове надхвърлят Вашите най-строгите изисквания за чистота и съвместимост.
Нашата мрежа от десет завода за производство на специфични за електрониката газове в световен мащаб са стратегически разположени в ключови производствени пазари. Това Ви дава предимството за навременни доставки, гъвкавост и сигурност на доставките.
Специфични за електрониката газове, включително силан, азотен трифлуорид, амоняк и смеси с примеси се доставят в различни размери на опаковката, за да отговарят на Вашите индивидуалните нужди за приложението им. Те включват бутилки, дръмове, ремаркета с бутилки и ISO контейнери.
Въпреки че изискванията варират от един регион до друг, следната таблица показва основните специфични за електрониката газове, които доставяме:
| Отлагане | Ецване | |
| Амоняк (NH3) | Бор трихлорид (BCl3) | Халокарбон 116 (C2F6) |
| Дихлоросилан (SiH2Cl2) | Въглероден оксид (CO) | Халокарбон 218 (C3F8) |
| Дисилан(Si2H6) | Въглероден двуокис (CO2) | Халокарбон 2316 (C4F6) |
| Хексахлородисилан (Si2Cl6) | Хлор (Cl2) | Халокарбон 318 (C4F8) |
| Монометилсилан (MMS) | Халокарбон (ClF3) | Водороден флуорид (HBr) |
|
Азотен оксид (NO)
| *Халокарбон(F2) | Азотен трифлуорид (HCl) |
| Кислород (O2) | Халокарбон 14 (CF4) | Водороден флуорид (HF) |
| Силан (SiH4)
Трисилан (Si3H8) | Халокарбон 1418 (C5F8) | Азотен трифлуорид (NF3) |
| Трихлоросилан (SiHCl3) | Халокарбон 23 (CHF3) | Силиконов тетрафлуорид(SiF4) |
| Триметилсилан (3MS) | Халокарбон 32 (CH2F2) | Серен хексафлуорид(SF6) |
| Волфрам хексафлуорид(WF6) | Халокарбон 41 (CH3F) | |
| Легиране | Други | |
| Арсин (AsH3) | Аргон (Ar) | |
| Бор-11 трифлуорид (11BF3) | Хелий (He) | |
| Диборан (B2H6) | *Водород (H2) | |
| Диборан (B2H6) | *Азот (N2) | |
| Германиев тетрахидрид (GeH4) | Сероводород (H2S) | |
| Фосфороводород(PH3) | Селеноводород (H2Se) | |
| Триметил-бор (TMB) | Диетилцинк (DEZ) | |
| * Може да се доставят от генератор на място | ||
Наличността и спецификациите могат да варират според местоположението. Моля свържете се с Вашия местен офис на Линде Газ.
