В продължение на повече от двадесет години, индустрията за ексимерни лазери разчита на нашите газове за литография SPECTRA™. SPECTRA газовете са били използвани при разработването на първите лазери за литография и сега са най-широко използваните ексимерни газове за дълбоко-ултравиолетова фотолитография в полупроводниковата индустрия.
Лазерите в хиляди скенери и степери по цял свят използват нашите най-съвременни SPECTRA газове и газови смеси.
Наши клиенти са всички най-големи световни производители на лазери, степер и скенери, както и много от най-големите световни производители на полупроводници. Те знаят, че могат да разчитат на най-високо качество на лазерните газове, в съчетание с задълбочени познания за върховите газови технологии.
Нашите клиенти също така могат да се възползват от развитието на новите технологии и иновациите, движени от нашите Центрове за върхови постижения, като например този за литографски газове SPECTRA в Алфа, САЩ. Основните области на специализация включват:
Пълен спектър - ние сме водещи на пазара за производство и пречистване на всички суровини, необходими за фотолитографията
Специализация в бутилки - въз основа на патентовани технологии за обработка и третиране на бутилки, съдържащи инертни, както и халогенни (F2) газове
Възможности за смесване - ние сме пионери във високо специфичните технологии за смесване за създаване на многокомпонентни смеси, които са напълно хомогенни
Аналитични технологии - с собствени аналитични технологии, които надхвърлят нормите на индустрията; всички бутилки за литографски газове SPECTRA са тествани индивидуално и снабдени със собствен "Сертификат за анализ'.